*全自動多功能離子束研磨系統(tǒng),可進行離子減薄(用于TEM);離子束拋光,離子刻蝕,樣品離子清洗及斜坡切割(用于SEM)等
*離子束能令1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°
*樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm
*可容納zei大樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
*可選配樣品臺:TEM樣品臺(?3.0mm或?2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)及相應冷凍樣品臺
*全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A抽室,保證樣品交換時間<1分鐘
*全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實時觀察樣品處理過程
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