1:
產(chǎn)品特點(diǎn)：
光學(xué)面材料：Au,Ni,Mo,etc...
*的復(fù)制技術(shù)
光譜范圍：EUV(60-200eV)
SXR（200-2000eV）
j鏡片形態(tài)：橢球鏡，拋物面鏡，也可根據(jù)需求定制其他非球面鏡
典型表層粗糙度：Ra≈0.3-2nm
典型尺寸：直徑（D）5-250mm;長(zhǎng)度（L）10-100mm
2.MFO
MFO是一款應(yīng)用于軟X射線和EUV波段的光學(xué)器件，有兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進(jìn)行反射。MFO一般由玻璃，硅或金屬等薄片組裝而成。
可根據(jù)客戶要求定制多種形狀（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez等）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
光學(xué)面材料：Au,Ni,Mo,etc...
寬視場(chǎng)（max±60°）
薄片厚度：30μm-1mm
孔徑：3x3mm-300x300mm
能量范圍：50eV-10keV)
平面，橢圓，和一般非球面
玻璃、硅和金屬
表層材料：Au, Ni, Mo, Pt, W...
1.基本參數(shù)：
 |  |
| Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror | Figure2: Geometry of a parabolic mirror |
| Type | L | D1 | D2 | Z1 | Zd | Divergence |
| [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mrad] |
| RE_08 | 50 | 6 | 10.5 | 72 | 1000 | 12 |
| RE_09 | 100 | 56.6 | 70 | 45 | 300 | 450 |
| RE_10 | 100 | 78 | 113 | 2450 | 2660 | 90 |
| RO_001 | 68 | 11.6 | 14 | 145 | 270 | X |
Figure3: Parameters of standard mirrors
 |  |
Figure4: Ellipsoidal mirror, Ni active surface, L=100mm | Figure4: Ellipsoidal mirror, Au active surface, L=80mm |
2.MFO
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| 激光等離子體源， Xe和Kr EUV輻射的聚焦強(qiáng)度分布。 | MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO橢圓K-B系統(tǒng)。 |
