在基礎(chǔ)科研中，微納結(jié)構(gòu)的跨尺度光刻逐漸成為研究者在制備樣品過程中的必要手段。常規(guī)光刻機(jī)需要定制光學(xué)掩模板，這不僅增高成本，還使靈活性大打折扣，即當(dāng)發(fā)生任何設(shè)計上的變動，都需要重新制造掩模板。激光直寫設(shè)備具備靈活性，且可以實現(xiàn)較高精度，但由于是逐行掃描，曝光效率較低。近些年，基于空間光調(diào)制器（DMD/DLP）的技術(shù)在紫外曝光方面獲得了長足的進(jìn)展。

由托托科技自主研發(fā)的TTT-07-UV Litho-ACA無掩模板紫外光刻機(jī)就采用空間光調(diào)制器的光刻技術(shù)，使得其在光學(xué)掩模板設(shè)計上有著得天獨厚的優(yōu)勢。其分辨率可達(dá)1 µm，高性能無鐵芯直線驅(qū)動電機(jī)保證了套刻精度和6英寸的圖形拼接。同時，其研發(fā)團(tuán)隊通過定制化微納結(jié)構(gòu)與器件的低成本、快速達(dá)成批量制造，實現(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用，助力電子、光學(xué)和生物等領(lǐng)域的微納米器件研究與開發(fā)。

主要應(yīng)用方向包括：微流道芯片，微納結(jié)構(gòu)曝光，電輸運(yùn)測試/光電測試器件，二維材料的電極搭建，太赫茲/毫米波器件制備，光學(xué)掩模板的制作等。

產(chǎn)品特點

自主研發(fā)

高精度五軸位移臺

多精度寫頭自由切換

所見即所得的套刻指引功能

機(jī)體內(nèi)除濕功能

全自動光刻控制軟件

矢量圖轉(zhuǎn)像素圖軟件

全畫幅主動對焦功能

曝光圖形自由變換

尺寸測量功能

進(jìn)程顯示功能

1.平面光刻

2.灰度光刻

3.3D重構(gòu)光刻