
安捷倫 Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復(fù)合型離子泵
Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復(fù)合型離子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸氣劑泵芯。吸氣劑泵可為活性氣體提供超高抽速(高達(dá) 400 L/s 氫氣),而三極離子泵可為氬氣和其他殘留惰性氣體提供較高抽速。經(jīng)優(yōu)化的磁場(chǎng)和真空燒制工藝進(jìn)一步提高了性能,可減少低壓下的氣體逸出。內(nèi)部防護(hù)罩可延長(zhǎng) NEG 的使用壽命。
這是一款可處理大量惰性氣體的泵,能夠以抽速和容量處理甲烷、氬氣和氦氣。這款泵非常適合需要在超高和真空狀態(tài)下達(dá)到抽速的高要求應(yīng)用。
產(chǎn)品特性
三極離子泵抽氣單元可快速抽除惰性氣體,而吸氣劑泵可快速抽除活性氣體,二者結(jié)合可達(dá)到較高的組合抽速,縮短達(dá)到超高真空/真空狀態(tài)所需的時(shí)間
燒結(jié)吸氣劑泵的設(shè)計(jì)緊湊,可提供比質(zhì)量較差的壓結(jié)末吸氣劑泵更出色的解決方案,并消除粉末進(jìn)入系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)
配備 ConFlat 4.5 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭以及用于吸氣劑泵的額外 ConFlat 2.75 英寸法蘭
可以選擇不同方向的真空穿導(dǎo)件,實(shí)現(xiàn)靈活性
無(wú)活動(dòng)部件,確保在高靈敏度應(yīng)用中無(wú)振動(dòng)運(yùn)行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場(chǎng)可減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理,并在真空下夾止,確保安裝前的清潔度和真空密封性
性能指標(biāo)
