飛納臺式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)借助3D粗糙度重建模塊，可以產(chǎn)生樣品的 3D 還原圖像，并進行亞微米量級的粗糙度測量。3D粗糙度重建模塊可以幫助用戶更加細致的分析飛納臺式掃描電鏡所得到的圖像，提取出樣品的隱藏信息，并將其可視化。3D 圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點，使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

飛納臺式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)

借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng)，飛納臺式掃描電鏡（SEM）可以生成樣品的三維圖像，并進行亞微米量級的粗糙度測量?；?ldquo;陰影顯形”技術(shù)，3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

飛納臺式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點，使得在2D圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測量對于生產(chǎn)工藝的控制和改進具有重要意義。使用SEM圖像作為信息收集手段，可以獲得較傳統(tǒng)（非直接）手段更佳的分辨率。

3D 粗糙度重建模塊是 Phenom 的理想擴展，特別適用于下列領(lǐng)域：

? 機械加工的質(zhì)量控制

? 紋理分析

? 證物鑒定

? 缺陷&失效分析

? 摩擦學(xué)-磨損分析

飛納臺式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點：

? 遠優(yōu)于光學(xué)或機械測量手段

· 高分辨率

· 可測量反射樣品

· 直接測非破壞性

? ?創(chuàng)新性全自動用戶界面

? 基于“陰影顯形”，無需傾斜樣品

? 完整解決方案

? 快速重建

? 直觀的用戶界面

規(guī)格參數(shù)

自動實時創(chuàng)建 3D 圖像

· 全 3D 圖像

· 2D 或 3D 圖像

· 通過顏色指示高度過濾后的 3D 圖像

· 基于“陰影顯形”的技術(shù)，無需樣品傾斜

· 快速重建

自動粗糙度測量

· Ra（平均粗糙度）和 Rz（粗糙高度）

· 用戶自定義濾波參數(shù)

· 支持 5 線同時測量