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日立超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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我也要出現(xiàn)在這里

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍,可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

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超高分辨率冷場發(fā)射

為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍

?沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍

?采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)質(zhì)性能

?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

?采用污染小、高真空樣品倉

?運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度

項目 內(nèi)容
二次電子分辨率

Regulus 8100:0.7 nm(加速電壓15 kV);0.8 nm(著陸電壓1 kV)

Regulus 8220/8230/8240:0.6 nm(加速電壓 15 kV);0.7 nm(著陸電壓 1 kV)

著陸電壓

Regulus 8100:0.1~2 kV

Regulus 8220/8230/8240:0.01~20 kV

放大倍率

Regulus 8100:20~1,000,000倍

Regulus 8220/8230/8240:20~2,000,000倍

樣品臺控制

Regulus 8100:3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)

Regulus 8220/8230/8240:5軸馬達驅(qū)動


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