CIS 系列封閉式離子源分析儀

憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包，CIS 系統(tǒng)將滿足您的應(yīng)用。在線過程監(jiān)測和控制、在使用點驗證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)的一些領(lǐng)域。

緊湊型設(shè)計

鍍金離子發(fā)生器

該探頭由一個四極質(zhì)譜儀和一個安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成。控制單元直接安裝在探頭的饋通法蘭上，并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備。CIS 接頭的側(cè)端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測器保持在高真空狀態(tài)的差動泵系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)可以通過其標準 CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室。該裝置是自對準的，具有簡單、堅固的設(shè)計。您可以清潔和重新組裝探頭，并在現(xiàn)場更換燈絲和電子倍增器，而無需致電工廠。

鍍金離子發(fā)生器

整個離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號，提高了長期穩(wěn)定性，并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時進行操作。使用鎢絲，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體，并延長使用壽命。電離器的封閉（氣密）設(shè)計可防止常見的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會產(chǎn)生沒有光譜重疊的峰。

探測器的選擇

CIS 系列分析儀標配法拉第杯檢測器（10 ppm 檢測）和連續(xù)打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測）。該軟件允許您在檢測器之間輕松切換。

電子倍增器

多功能性

CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式”。在這種模式下，裝置具有較低的最小可檢測分壓，但也具有較低的工作壓力。例如，RGA 模式用于濺射工藝的階段，此時腔室被抽空至低壓，并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式，以便在較高壓力下直接采樣。

可編程性

提供標準 RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù)，并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序。

視窗軟件

模擬模式

CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是交互式的，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或按給定時間間隔計劃采集數(shù)據(jù)，以進行長期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視頻警報以及全面的在線幫助。該軟件允許通過簡單的質(zhì)量標度調(diào)整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制。為了進一步分析，數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存，以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設(shè)置。

可選的獨立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。

壓力與時間

多頭操作

當需要多個 CIS 時，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個 ECU。

泵送要求

CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統(tǒng)。連接端口是一個 2.75" Conflat ® 法蘭。選項 O100TDP 提供一個渦輪泵，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上。訂購此選項時，整個分析儀都在工廠組裝、測試和校準。用戶可以提供自己的泵站；但是，用戶有責任確保泵系統(tǒng)不會損壞或限制儀器的性能。

經(jīng)濟實惠的性能

圖書館模式

SRS CIS 系統(tǒng)以競爭模型的一小部分成本提供的性能。標準系統(tǒng)包括法拉第杯探測器、電子倍增器探測器和 Windows 軟件。選項包括用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。

獨聯(lián)體尺寸圖

獨聯(lián)體參數(shù)	范圍	獨聯(lián)體模式	RGA模式
電子發(fā)射電流 (mA)	0到1	0.05	0.5
電子能量 (eV)	25 至 105	70 或 35	70
離子能量 (eV)	4 或 8	4 或 8	4 或 8
提取電壓 (V)	0 到 -150	-50（典型值）	-50（典型值）
靈敏度 (A/Torr) （對于 N 2 @28 amu）		10 -6	10 -5
線性范圍上限 (Torr)		2×10 -3	10 -4
MDPP (托)		10 -8	10 -9

筆記

1. CIS 測試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進行，由隔膜泵支持，連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報告的 RGA 模式靈敏度是針對低于 10 -5  Torr的 N 2
計算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計算的。4. MDPP（最小可檢測分壓）通過在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測量法拉第杯檢測的基線水平來確定

 托（CIS 模式）。當電子倍增器打開時，可檢測性可提高多達 3 個數(shù)量級。