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六自由度位移平臺

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六自由度位移平臺可實(shí)現(xiàn) X、Y、Z、α、β、Ψ運(yùn)動維度調(diào)節(jié),可帶動系統(tǒng)進(jìn)行精密位置調(diào)整。該平臺設(shè)計(jì)使其比串聯(lián)運(yùn)動系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性,動態(tài)范圍更大,無移動電纜:更穩(wěn)定、摩擦更小。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

參數(shù):

· 運(yùn) 動 維 度 :X、Y、Z、α、β、Ψ
· X、Y 行程:±8mm、±8mm
· Z 行程: ±9mm
· α、β行程:±3°
· Ψ 行程:±5°
· 推進(jìn)設(shè)備分辨率:1μm
· X、Y 運(yùn)動精度:5μm
· Z運(yùn)動精度:3μm
· X、Y 重復(fù)運(yùn)動精度:2μm
· Z 重復(fù)運(yùn)動精度:2μm
· α、β運(yùn)動精度:0.069mrad
· X、Y 移動速度:1mm/s
· Z移動速度:2mm/s
· 負(fù)載(水平):100kg
· 質(zhì)量:10.5kg
· 尺寸(直徑*高度):390mm*310mm


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