它是一種過(guò)濾器，將特定波長(zhǎng)的EUV光（極紫外，極紫外）與可見光和不必要的EUV光分開。

EUV濾光片

由于它是一款自立式EUV濾光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，還有一個(gè)帶有抗氧化膜的過(guò)濾器。 由于耐氧化性優(yōu)異，因此與通常的過(guò)濾器相比，透過(guò)率的劣化小。

主要用途

· 將高次諧波從基波中分離出來(lái)；

· 去除不需要的波長(zhǎng)，如同步輻射，等離子體X射線等；

· 預(yù)防等離子體X射線中的碎片；

· 真空窗，差壓窗口

對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)區(qū)

· 可以對(duì)應(yīng)于每個(gè)極紫外線和軟X射線波長(zhǎng)區(qū)域。

· 近波長(zhǎng)13.5nm（Zr過(guò)濾器）

· 近波長(zhǎng)29.6nm（鋁過(guò)濾器）

· 近波長(zhǎng)61.5 nm（Sn濾光片）

支撐薄膜

· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；

· 聚合物膜支撐過(guò)濾器；

· 網(wǎng)格支撐濾器；

· SiN膜支撐濾器；

聚合物膜支撐過(guò)濾器 網(wǎng)格支撐過(guò)濾器 膜支撐過(guò)濾器

其他種類

各種材料透射率的計(jì)算值（膜厚度：100nm）：

我們還設(shè)有層壓膜過(guò)濾器，硬X射線過(guò)濾器等產(chǎn)品。