產(chǎn)品功能：

清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如：去除有機(jī)污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。

蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。 如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。如：疏水層，親水層，保護(hù)/阻隔層，干潤滑層，疏油層。
 

選配：

控制系統(tǒng)： 全自動PCCE控制/全自動PC控制。
 

氣體：

氣體流量計(jì)MFC，多路氣體
 

腔體：

圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 267 mm，長 420 mm 或長 600 mm）
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm x 240 mm，長 420 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm，長 400 mm 或長 600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm，長 400 mm 或長 600 mm）
 

托盤：

石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英玻璃/水冷型
 

壓力測量：

Pirani/電容式壓力計(jì)（適用于腐蝕性氣體版本）
 

發(fā)生器：

100 kHz：0- 500 W 80 kHz：0- 1000 W 13.56 MHz： 0 - 100 W/300 W 2.45 GHz：0 - 600 W
 

其他：

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