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精密型等離子清洗機(jī)FEMTO

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 旭阿科技(上海)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/5/16 15:41:16
  • 訪問(wèn)次數(shù) 127

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精密型等離子清洗機(jī)FEMTO 產(chǎn)品說(shuō)明: 1.7L——6L等離子清洗機(jī)FEMTO可以組合成不同的模塊系統(tǒng),是工藝實(shí)驗(yàn)當(dāng)中多功能型小型設(shè)備的代表機(jī)型,非常適用于研發(fā)。 應(yīng)用領(lǐng)域: 主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、滅菌、紡織技術(shù)。 在線咨詢

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

    設(shè)備:精密型等離子清洗機(jī)FEMTO
    銷售:
    產(chǎn)品功能:

    清洗:工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如:去除有機(jī)污染物,去除納米級(jí)微粒,去除氧化層

    活化:工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后,會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。如:PDMS鍵合,粘接前的預(yù)處理,涂裝前的預(yù)處理,印刷前的預(yù)處理。

    蝕刻:工藝部件表面通過(guò)特定氣體達(dá)到精確濺射,表面材料被剝離,轉(zhuǎn)變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn),也使材料表面更粗糙化。通過(guò)改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。 如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。
     
    涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應(yīng),形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護(hù)/阻隔層,干潤(rùn)滑層,疏油層。

     

    具體應(yīng)用:
    • 硅蝕刻
    • PTFE蝕刻
    • 去除光刻膠
    • 提高耐溫塑料對(duì)于涂料和粘結(jié)劑的附著性
    • 疏水層的沉積
    • 親水層的沉積
    • 保護(hù)或絕緣層的沉積
    • 防擴(kuò)散層
    • 石墨烯、煤樣的灰化
     

    主要技術(shù)參數(shù) 1. 全自動(dòng)控制 PCCE
    2. *根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量,時(shí)間等參數(shù)
    3. 單路工作氣體,氣體流量通MFC流量計(jì)控制
    4. 反應(yīng)艙為不銹鋼,Ø100 mm*L278mm,容積約為2.2L
    5. 射頻頻率13.56MHz功率0~200W
    6. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
    7. 運(yùn)行模式為手動(dòng)
    8. 真空泵的排氣能力為4m3/Hour,配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥
    9. *配有壓力傳感器,可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
    10. 外尺寸:W310*D420*H330mm
    11. 電源電壓:?jiǎn)蜗郃C230V 16A

    選配:
    半自動(dòng)/PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)/ PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
     
    氣體:
    針形閥流量計(jì);MFC多路氣體可選
     
     壓力測(cè)量:
    Pirani/電容式壓力計(jì)(適用于腐蝕性氣體版本)
     
    發(fā)生器:
    40KHz0-100W/1000W            100KHz0-500W            80KHz0-1000W             2.45GHz0-100W/300W
     
    腔體:
    圓形不銹鋼,帶蓋(約 ∅ 100 mm,長(zhǎng) 278 mm 或長(zhǎng) 600 mm)
    矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 103 x 深 285 x 高 103)
    矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 103 mm x 103 mm,長(zhǎng) 280 mm 或長(zhǎng) 600 mm)
    圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 95 mm,長(zhǎng) 280 mm 或長(zhǎng) 600 mm)
    圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 95 mm,長(zhǎng) 280 mm 或長(zhǎng) 600 mm
     
    托盤:
    石英舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英
     
    電極:
    多層電極/RIE電極
     
    其他:
    ......


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