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奧林巴斯MX-IR/BX-IR透視近紅外顯微鏡

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MX-IR/BX-IR透視近紅外顯微鏡詳細(xì)介紹:非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化

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MX-IR / BX-IR透視近紅外顯微鏡詳細(xì)介紹:

非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部
隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package)、三維組裝、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無損檢查和分析。
倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析 
在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,則可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下,就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效。 
晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞 
晶圓級CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化,可以用非接觸方式檢查。此外,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。


鋁引線部分(內(nèi)面觀察)

焊錫溢出性評價

電極部分(內(nèi)面觀察)
針對不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容 
MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號) 

可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品。只對應(yīng)反射照明觀察。 


半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61

工業(yè)檢查顯微鏡 MX51
BX系列產(chǎn)品(標(biāo)準(zhǔn)型號)

研究級全電動系統(tǒng) 
金相顯微鏡 BX61
對應(yīng)反射光觀察和透射光觀察。
BXFM(嵌入式設(shè)備型號) 
 

                           
小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM


 
技術(shù)規(guī)格:
將專用物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上,就可以組成紅外線觀察顯微鏡。 
有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格,請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
 
LMPlan-IR紅外線觀察用
對應(yīng)顯微鏡一覽
紅外線反射觀察 
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號 
> MX61L/ MX61: 可以對應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動型號 
> MX51: 可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動型號 
> BX51M: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號
紅外線反射透射觀察 
> BX61: 操作省力的電動控制型號 
> BX51: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號


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