讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)，保持檢測(cè)員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時(shí)，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的整個(gè)工作流程。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和記錄結(jié)果提供了更多選擇。
從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察和圖像采集
MIX觀察技術(shù)通過(guò)將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振光等其他觀察方法相結(jié)合，生成的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)使用戶能夠查看使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用一個(gè)象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。
輕松生成全景圖像：即時(shí)MIA
使用多圖像拼接（MIA）功能時(shí)，用戶只需轉(zhuǎn)動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的KY旋鈕，即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動(dòng)載物臺(tái)無(wú)需進(jìn)行該操作。PRECiV軟件采用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
生成全聚焦圖像：EFI
PRECiV的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像，并將其合成一幅全聚焦圖像。EFI可配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸聚焦裝置使用，以生成高度圖像，輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)結(jié)構(gòu)的可視化觀察。在PRECiV Desktop離線時(shí)，也可以生成EFI圖像。
利用HDR同時(shí)采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）可調(diào)整圖像內(nèi)的亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。
從基本測(cè)量到高級(jí)分析
測(cè)量對(duì)于質(zhì)量、工藝控制和檢測(cè)至關(guān)重要。鑒于這一點(diǎn)，即便是入門級(jí)PRECiV軟件包也融入了交互式測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外，PRECiV材料解決方案還為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕，即可快速精準(zhǔn)執(zhí)行圖像分析任務(wù)。由于大幅縮減了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間，操作員可以專注于手頭的檢測(cè)工作。
高效的報(bào)告創(chuàng)建
與圖像采集和測(cè)量相比，創(chuàng)建報(bào)告通常需要花費(fèi)更長(zhǎng)的時(shí)間。PRECiV軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，可以根據(jù)預(yù)定義的模板多次生成智能、復(fù)雜的報(bào)告。編輯操作非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV軟件的報(bào)告功能可對(duì)采集的圖像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，更便于通過(guò)電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。
MX63/MX63L半導(dǎo)體顯微鏡技術(shù)規(guī)格
| MX63 | MX63L |
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)） |
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED（帶光強(qiáng)度管理器）12 V 100 W鹵素?zé)簦?00W汞燈，光導(dǎo)
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/反射鏡分光鏡組件手動(dòng)切換。（反射鏡分光鏡組件為選配件。）
通過(guò)手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場(chǎng)自動(dòng)打開(kāi)）
觀察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉對(duì)比度（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2
*1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.5）和孔徑光闌
- MX-TILLB：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.6）、孔徑光闌和視場(chǎng)光闌
光源：LG-LSLED（LED光源）光導(dǎo)：LG-SF
觀察模式：明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏振光 |
| 對(duì)焦 | 行程：32 mm
每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm
最小分度：1 μm
配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié) |
| 載荷重量（包括載物臺(tái)和支架） | 8 kg | 15 kg |
| 觀察筒 | 寬視場(chǎng)（FN 22 mm） | 正像三目鏡筒：U-ETR4
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-TTR-2
倒像三目鏡筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于紅外觀察）
倒置雙目鏡筒：U-BI30-2
倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30 |
| 超寬視場(chǎng)（FN 26.5 mm） | 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機(jī)] 或0：99%）
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機(jī)] 或20%：80%）
倒像三目鏡筒：U-SWTR-3 |
| 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6REMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5REMC 明場(chǎng)和暗場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)五孔：U-D5BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5BDREMC
帶真空裝置的電動(dòng)版：U-D5BDREMC-VA |
| 載物臺(tái)（X x Y） | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R
行程：210 x 210 mm
透射光照明區(qū)域：189 x 189 mm 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2
行程：158 x 158 mm
（僅適用于反射光） | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305 mm
透射光照明區(qū)域：356 x 284 mm |
| 重量 | 約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg） | 約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg） |
