可按照個(gè)人需求進(jìn)行測(cè)量的顯微鏡
無論樣品大小、簡單還是復(fù)雜，或執(zhí)行測(cè)量的人員經(jīng)驗(yàn)如何，奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測(cè)量顯微鏡。
優(yōu)異的光學(xué)性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。
因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，并大大降低誤差。
STM7-LF FEM分析
簡單易用的高精度3軸測(cè)量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測(cè)量，Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。為此，奧林巴斯開發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精度，此外，在安裝系統(tǒng)時(shí)，奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
可靠的模塊化系統(tǒng)
五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。
適合您的樣品的載物臺(tái)
· 常見問題
1、短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求{? 由于X軸測(cè)量區(qū)域短于Y軸測(cè)量區(qū)域，因此必須旋轉(zhuǎn)樣品
2、由于可測(cè)量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量
· STM7解決方案
1、STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái)，能夠測(cè)量較大的樣品，包括300 mm晶圓和印刷電路板。
2、X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域長度相等，因此無需旋轉(zhuǎn)樣品
3、較長的X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品，實(shí)現(xiàn)更高效的測(cè)量
測(cè)量行程300 mm x 300 mm
提供三款具有不同測(cè)量行程的載物臺(tái)供選擇：100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)適合您的應(yīng)用。
實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測(cè)量
· 常見問題
進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同操作員會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。
· STM7解決方案
STM7聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)減少了操作員的主觀性對(duì)高度測(cè)量的影響。它還可以縮短執(zhí)行高度測(cè)量所需的時(shí)間，以實(shí)現(xiàn)更高的效率
技術(shù)規(guī)格
STM7規(guī)格（手動(dòng)型號(hào)）
| 手動(dòng)型號(hào) |
| 小型載物臺(tái) | 中型載物臺(tái) | 大型載物臺(tái) |
| 顯微鏡主體 |
| STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF |
| 聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm |
| 測(cè)量高度 | 120 mm（使用測(cè)量物鏡）
175 mm（使用金相物鏡） | 90 mm（使用測(cè)量物鏡）
145 mm（使用金相物鏡）*1 |
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 um |
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕 |
| 照明 | LED 照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 |
| 觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100） |
| 目鏡（F.N.22） | MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X |
| 物鏡 | BF（明場） | MM6C-KMAS
照明 |
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器 |
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡 |
| BF（明場）/DF（暗場） | MM6C-RLAS
照明 |
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器 |
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡 |
| LED 裝置 | 白色（反射） | MM6-ILW |
| 綠色（透射） | MM6-ILG |
| 載物臺(tái) |
| STM7-CS100 | STM7-CS200 | STM7-CS300 |
| 測(cè)量范圍 | X軸100 mm，Y軸100 mm | X軸200 mm，Y軸200 mm | X軸300 mm，Y軸300 mm |
測(cè)量精度
（L：測(cè)量長度） | (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm |
| 精度保證重量 | 6 kg | 10 kg | 15 kg |
| 計(jì)數(shù)器 |
| STM7-DI |
| 軸數(shù) | 三軸 |
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 |
| 分辨率 | 0.1 um |
| 控制箱 | STM7-CB |
| 手控開關(guān) | STM7-HS |
| 聚焦控制器 | － |
| 接口線纜 | － |
| 防振基座 | － | STM7-VI |
| 電源線纜 | UYCP |
| 尺寸（寬x深x高）mm | 466 x 583 x 651 | 606 x 762 x 651 | 804 x 1024 x 686 |
| 重量（kg） | 84 kg | 152 kg | 277 kg |
| 功耗 | 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 物鏡 | 1X | 3X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | － | － | － |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | － | － | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長工作距離 | － | － | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 |
| MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | － | － | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場，長工作距離 | － | － | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |
STM7-BSW系統(tǒng)要求
| 項(xiàng)目 |
| CPU | 對(duì)于STM7-CU相機(jī)，需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，需要Intel Core i5或同等或更高級(jí)別處理器 |
| 內(nèi)存 | 對(duì)于STM7-CU相機(jī)，為4 GB或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，至少需要8 GB，建議16 GB |
| 硬盤可用空間 | 安裝需要100 GB或更大硬盤空間，建議使用SSD硬盤以實(shí)現(xiàn)高速圖像采集 |
| 顯卡 | 支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡 |
| 驅(qū)動(dòng)器 | DVD驅(qū)動(dòng)器 |
| PC輸入設(shè)備 | 2鍵鼠標(biāo)（建議使用帶滾輪的3鍵鼠標(biāo)）、鍵盤 |
| 操作系統(tǒng) | Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64位） |
| 網(wǎng)絡(luò)瀏覽器 | Internet Explorer 11 |
* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。
STM7規(guī)格（電動(dòng)型號(hào)）
| 電動(dòng)型號(hào) |
| 中型載物臺(tái) | 大型載物臺(tái) |
| 顯微鏡主體 |
| STM7-MFA | STM7-LFA |
| 聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm |
| 測(cè)量高度 | 120 mm（使用測(cè)量物鏡）
175 mm（使用金相物鏡） | 90 mm（使用測(cè)量物鏡）
145 mm（使用金相物鏡）*1 |
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 um |
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 電動(dòng) |
| 照明 | LED 照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 |
| 觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100） |
| 目鏡（F.N.22） | MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X |
| 物鏡 | BF（明場） | MM6C-KMAS
照明 |
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器 |
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡 |
| BF（明場）/DF（暗場） | MM6C-RLAS
照明 |
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器 |
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡 |
| LED 裝置 | 白色（反射） | MM6-ILW |
| 綠色（透射） | MM6-ILG |
| 載物臺(tái) |
| STM7-CS200 | STM7-CS300 |
| 測(cè)量范圍 | X軸200 mm，Y軸200 mm | X軸300 mm，Y軸300 mm |
測(cè)量精度
（L：測(cè)量長度） | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm |
| 精度保證重量 | 10 kg | 15 kg |
| 計(jì)數(shù)器 |
| STM7-DI |
| 軸數(shù) | 三軸 |
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 |
| 分辨率 | 0.1 um |
| 控制箱 | STM7-CBA |
| 手控開關(guān) | － |
| 聚焦控制器 | STM7-MCZ |
| 接口線纜 | U-IFCBL200 | U-IFCBL200 |
| 防振基座 | STM7-VI |
| 電源線纜 | UYCP |
| 尺寸（寬x深x高）mm | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 844 |
| 重量（kg） | 159 kg | 284 kg |
| 功耗 | 00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
選件
| 物鏡 | 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列
（1X /3X /5X /10X） |
| 聚焦導(dǎo)航器 | 聚焦導(dǎo)航器裝置 | STM7-FN |
| 綠光LED裝置 | MM6-ILG |
| 自動(dòng)聚焦 | 自動(dòng)對(duì)焦單元 | STM7-AF |
| 微分干涉對(duì)比度 | 用于反射光的U-DICR DIC插槽 | U-DICR |
| 軟件/相機(jī)*1 | 測(cè)量支持軟件 | STM7-BSW |
| 相機(jī) | 低端數(shù)碼相機(jī) | STM7-CU |
| 中端數(shù)碼相機(jī) | DP23-CU |
| 數(shù)碼相機(jī) | DP28-CU |
| TV適配器 | 帶0.5倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 | U-TV0.5XC-3 |
| 帶0.35倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 | U-TV0/35XC-2 |
| 可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) | 行程100 x 100 mm | STM7-RS100 |
| 行程200 x 200 mm | STM7-RS200 |
| 行程300 x 300 mm | STM7-RS300 |
| ND濾鏡 | ND濾鏡（透射率6%） | U-25ND6 |
| ND濾鏡（透射率25%） | U-25ND25 |
| 微分干涉對(duì)比度 | 微分干涉對(duì)比度/偏振鏡 | U-PO3 |
| 微分干涉對(duì)比度/檢偏鏡 | U-AN360-3 |
| 軟件 | MIA、EFI（可選軟件） | STM7-ASW-ME |
| 腳踏開關(guān) | STM7-FS |
| 電源裝置 | MM6-ILPS-2 |
| 載物臺(tái)測(cè)微計(jì) | OB-M/OB-MM |
*1 支持的相機(jī)因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本：STM7-CU
1.4.1版或更新版本：DP23/DP28
