JSM-6510JSM-6510系列主要特點：1.保證分辨率(Resolution)鎢燈絲電子槍時高真空模式：3.0nm（30kV）,8.0nm（3kV），15nm（1kV）低真空模式：4.0nm（30kV）（選項）JSM-6510系列既有高加速電壓下的高分辨率，也有低加速電壓下高分辨率

JSM-6510

JSM-6510系列主要特點：

1.保證分辨率 (Resolution)

鎢燈絲電子槍時高真空模式：3.0nm（30kV）, 8.0nm（3kV），15nm（1kV）

低真空模式：4.0nm（30kV）（選項）

JSM-6510系列既有高加速電壓下的高分辨率，也有低加速電壓下高分辨率。

2.全自動電子槍 (Fully Automated Electron Gun)

當真空度達到要求后，只需按下HT按鈕，從加速電壓的提升，到圖像的出現(xiàn)全部自動完成。自動功能包括：自動電子槍加熱、無縫自動偏壓、自動合軸、自動聚焦、自動適時聚焦、自動亮度、自動對比度、自動消像散、自動像散記憶等。

3.無縫自動偏壓（Seamless automatic bias）

在全加速電壓范圍（包含低加速電壓范圍）內(nèi)，實現(xiàn)無縫自動偏壓，圖像亮度、信噪比優(yōu)化，即使在低電壓時，圖像質(zhì)量也大大提高。

4.大視野觀察范圍（Large Field of View）

倍數(shù)為5倍，可觀測到2厘米見方的樣品，便于查找觀察位置。

5.圖象電氣移動距離大（Large Electrical Image Shift）

圖象電氣移動距離大：+/-50μm，WD=10mm。

6.高性能的變焦聚光鏡系統(tǒng) (Precision Zoom Condenser lens) （）

照射電流發(fā)生變化時，保障以下三個功能：a，圖像始終適時聚焦（不需重復按自動聚焦鍵）；b，圖象襯度及分辨率自動化；c，視野中心基本不發(fā)生變動。

7.能勝任大WD的超級圓錐形物鏡 (Super Conical Objective Lens)

在較大WD下仍能實現(xiàn)高分辨，如在能譜儀工作位置WD=10mm時，既能分析還可以高分辨觀察；由于該物鏡特性，粗糙表面樣品也可以獲得大景深清晰圖象。

8.高感度半導體背散射電子探頭 (High sensitivity semiconductor detector) （選項）

該探頭感度很高，并能提供三種成像：成分像、形貌像和立體像。其中的立體像不僅立體感強，更實現(xiàn)了組成信息立體化顯示（）。

9.多幅活圖像同時顯示 （Multi Live Image Display）

二次電子探頭、背散射電子探頭（選項）、STEM探頭（選項）裝配上時，它們的活圖像可同時顯示，觀察的方式和組合形式可進行多樣選擇。

10. 操作導航器（Operation navigator）

引導和提示操作流程。維護作業(yè)動畫導航。

11.全對中優(yōu)中心樣品臺 (Eucentric Stage)

該樣品臺能保證樣品平移、斜移或傾斜時，實現(xiàn)優(yōu)中心動作，聚焦狀態(tài)保持不變,而且該性能在WD=5mm~48mm全范圍均可以實現(xiàn)。

12.分子泵真空系統(tǒng)或油擴散泵真空系統(tǒng) （TMP System or DP System）

電鏡的高真空系統(tǒng)可按要求配置油擴散泵+機械泵，或者分子泵+機械泵。(選項)

13.低真空功能 (Low Vacuum SEM)(選項)

對于非導電性樣品或者導電性差的樣品，采用低真空環(huán)境可以減緩樣品的放電效應。

低真空范圍：10Pa – 270Pa，低真空系統(tǒng)為獨立真空系統(tǒng)，標配低真空防污染前置阱。

14.各種選項探測探頭(Variety of Detectors Mounted)

可以選配高感度半導體背散射探頭、能譜儀、波譜儀、EBSD探頭、紅外相機、低真空二次電子探頭等。搭配JEOL能譜儀時，可實現(xiàn)掃描電鏡和能譜儀一體化控制。