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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 廣州思貝舒檢測(cè)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 廣州市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/5/30 15:09:32
- 訪問次數(shù) 39
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MX61L產(chǎn)品特點(diǎn):半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡大型載物臺(tái)搭載:300mm晶圓全面檢查(MX61L)采用高NA的透射光聚光鏡
MX61L
產(chǎn)品特點(diǎn):
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺(tái)搭載: 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 反射光照明
型號(hào) | MX61L型顯微鏡 | |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)) | |
顯微鏡鏡體 | 射光照明(F.N. 26.5) | 12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型) 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)反射鏡可外加1個(gè)分光鏡組(選配) ,轉(zhuǎn)換使用 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌(每個(gè)物鏡可預(yù)設(shè),物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)換,暗視場(chǎng)觀測(cè)時(shí)自動(dòng)打開) |
觀測(cè)方法 | ||
①反射光明視場(chǎng)法;②反射光暗視場(chǎng)法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡(jiǎn)單偏振法;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場(chǎng)法;⑧透射光簡(jiǎn)單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | ||
觀察鏡筒 | 超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超寬場(chǎng)三目鏡筒/寬場(chǎng)雙目鏡筒 | 超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置) |
換鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動(dòng)五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤,配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測(cè):U-D5BDREMC型 | |
載物臺(tái) | MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm 原裝日本精機(jī)2軸電動(dòng)平臺(tái),可以進(jìn)行XY軸同時(shí)聯(lián)動(dòng)。 帶12寸晶圓載物臺(tái)板。 | |
內(nèi)置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
能耗 | ||
體積/重量 | 體積:約710(寬)×843(長(zhǎng))×507(高)mm 重量:約51kg(載物臺(tái)約重31kg) |
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