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| 工作臺 | 100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm 重復再現(xiàn)性0.75μm以下 定位精度±3.0μm |
| 物鏡 | 5×、10×、20×、50×、100× |
| 照明 | LED照明 |
| AF | 自動聚焦激光方式 |
| 攝像頭 | CCD 500萬像素 |
| 分辨率 | LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel |
| 測定再現(xiàn)性 | 0.1μm以下 |
| 軟件 | 專用軟件SLM101 |
| 測定功能 | 自動線寬測定功能 |
| 選項 | 自動傳送對應 |
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