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LW400LJT金相顯微鏡

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LW400LJT/LW400LMDT大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查金相顯微鏡

大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)。可進(jìn)行偏光與明視場、暗視場觀察轉(zhuǎn)換。專門設(shè)計(jì)的大移動(dòng)范圍載物臺,移動(dòng)范圍:8"×8"(204mm×204mm),滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動(dòng)格值:0.7μm。三目鏡筒,可進(jìn)行99%透光攝影。

標(biāo)準(zhǔn)配置

技術(shù)規(guī)格

目鏡

大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm)

無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡

           LW400LJT             
(配明場物鏡)

PL L5X/0.12  工作距離:26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距離:20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距離:8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距離:3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距離:1.25 mm

        LW400LMDT           
(配明/暗場物鏡)

PL L5X/0.12 BD  工作距離:9.70 mm

PL L10X/0.25 BD  工作距離:9.30 mm

PL L20X/0.40 BD 工作距離:7.23mm

PL L50X/0.70 BD  工作距離:2.50 mm

PL L80X/0.80 BD 工作距離:1.25 mm

目鏡筒

三目鏡30?傾斜, 可99%通光攝影

落射照明系統(tǒng)

LW400LJT

6V30W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)

LW400LMDT

12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)

內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式檢偏器與起偏器

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

轉(zhuǎn)換器

五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)

載物臺

機(jī)械式載物臺,外形尺寸:280mmX270mm,移動(dòng)范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm



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