用途和特點(diǎn)：
　　可廣泛適用于計(jì)量實(shí)驗(yàn)室對(duì)高精度平面的平面度檢測(cè)和鑒定。能根據(jù)不同的要求打印出各種平面度測(cè)試的彩色等高圖以及三維立體透視圖。并給出波峰波谷值（PV），面形誤差（Em），均方根值（Rms），光圈數(shù)等面形評(píng)價(jià)參數(shù)。人體溫度對(duì)測(cè)量可靠性的影響為最小。

儀器的配套性：
　　改型的XQ15-GⅠ激光平面干涉儀、1/3英寸CCD、14″監(jiān)視器、掃描驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)器電源、電腦、EPSON720彩色打印機(jī)。
　　電腦配置要求：CPU PⅢ以上，128兆內(nèi)存，16兆顯存顯卡，視頻捕捉卡。

技術(shù)參數(shù)：

1. 標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm