DVIA-MB SEM＆TEM的最終活性基礎(chǔ)
專(zhuān)為電子顯微鏡而設(shè)計(jì)
我們專(zhuān)門(mén)為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡設(shè)計(jì)了DVIA-MB; DVIA-MB是最終的主動(dòng)振動(dòng)隔離基礎(chǔ)平臺(tái)，通過(guò)主動(dòng)降低低頻范圍內(nèi)的振動(dòng)，協(xié)助電子顯微鏡獲得生物和非生物樣品的高分辨率圖像。 此外，DVIA-MB適合所有市場(chǎng)上的商業(yè)電子顯微鏡。
的主動(dòng)隔振器
DVIA-MB由四個(gè)主動(dòng)隔振器組成，DVIA-M隔離器內(nèi)置空氣彈簧元件和主動(dòng)隔離系統(tǒng)。 慣性傳感器和電磁執(zhí)行器安裝在這些主動(dòng)隔振器中，有效地降低了低頻振動(dòng)，同時(shí)被動(dòng)隔離（空氣彈簧）支持大量有效負(fù)載，并為高頻振動(dòng)提供隔振。
具有高分辨率的納米成像
如上圖所示，當(dāng)?shù)皖l振動(dòng)干擾電子顯微鏡時(shí)，使用DVIA-MB降低這些振動(dòng)至關(guān)重要，以便獲得納米級(jí)分辨率圖像。
的隔振性能
主動(dòng)隔離系統(tǒng)的諧振頻率比無(wú)源隔離系統(tǒng)低得多。 如上圖所示，主動(dòng)系統(tǒng)在1-10Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)控制非常出色，被動(dòng)系統(tǒng)放大低頻振動(dòng)而不是過(guò)濾振動(dòng)。 DVIA-MB在精密儀器趨于不穩(wěn)定和破壞性的低頻振動(dòng)中隔離超精密儀器非常有效。 主動(dòng)振動(dòng)隔離開(kāi)始于0.5 Hz，DVIA-MB在2 Hz時(shí)達(dá)到90％，在10 Hz時(shí)達(dá)到99％。
反饋和前饋算法
DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測(cè)干擾隔離有效負(fù)載基座的振動(dòng)，并即時(shí)作出反應(yīng)，以實(shí)時(shí)最小化振動(dòng)。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng)，以預(yù)定義的方式濾除地面振動(dòng)。
控制所有六個(gè)自由度的振動(dòng)
安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過(guò)三個(gè)平移運(yùn)動(dòng)（X，Y和Z）以及三個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來(lái)檢測(cè)和控制振動(dòng)。
每個(gè)安裝地點(diǎn)都有不同的振動(dòng)級(jí)別，表明每個(gè)安裝地點(diǎn)都需要調(diào)整。 因此，我們提供現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動(dòng)的關(guān)鍵因素。 沒(méi)有調(diào)整，主動(dòng)隔離系統(tǒng)不能提供的主動(dòng)隔離性能。
應(yīng)用：掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡
產(chǎn)品規(guī)格
