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- 公司名稱 廣州譽立電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 廣州市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/7/2 14:49:03
- 訪問次數(shù) 104
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手動納米平臺
手動納米平臺是西格瑪光機全新概念的,全新產(chǎn)品,至今還沒有確定上市時間,此款平臺在普通的手動微分頭和平臺臺面之間,加裝一個壓電陶瓷模塊,該壓電陶瓷模塊,有一組手動鈕控制,一個鈕對應(yīng)一個軸,實現(xiàn)平臺臺面位置的納米分辨率的微調(diào),不僅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),還有小體積(25*25臺面可選),實現(xiàn)了手動平臺超高分辨率調(diào)整的理想手段。
技術(shù)指標(biāo):
指標(biāo)項目 | 臺面尺寸 | 口25mm | 口40mm
| 口60mm |
行程 | 粗調(diào)(mm) | 6 | 13 | 13 |
微調(diào)(μm) | 30~50 | 30~50 | 30~50 | |
分辨率 | 粗調(diào)(mm) | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
微調(diào)(nm) | <20 | <20 | <20 | |
承載能力 | X/XY 軸(kg) | 2 | 3 | 5 |
Z軸(kg) | 1 | 1 | 1 |
*粗調(diào):普通微分頭
微調(diào):壓電陶瓷
手調(diào)控制器類型:1軸用,3軸用
實測數(shù)據(jù)圖:
重要信息:
我司是西格瑪光機的中國區(qū)域一級代理商,只要有新產(chǎn)品上新,我們都是個知道,想了解更多手動納米平臺的資料,可以關(guān)注我們,不僅如此,我們還提供各種指標(biāo)的成像物鏡、加工物鏡、光刻物鏡等的定制,我們。
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