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國儀量子 SEM4000Pro場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計,束流可達(dá)200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標(biāo)配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器,可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。...

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SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計,束流可達(dá)200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標(biāo)配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器,可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。

- 超高分辨率(0.9 nm@30 kV)

- 低真空模式(180 Pa)

- 三級磁透鏡設(shè)計

- 200 nA大束流(選配)

- 機(jī)械優(yōu)中心樣品臺

- 快速換樣倉(8寸)

產(chǎn)品優(yōu)勢

01 配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發(fā)射電子槍

02 分辨率高,30 kV 下優(yōu)于 0.9 nm 的極限分辨率

03 三級磁透鏡設(shè)計,束流可調(diào)范圍大,支持 200 nA 的分析束流

04 無漏磁物鏡設(shè)計,可直接觀察磁性樣品

05 標(biāo)配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器

06 標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松

應(yīng)用案例

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù) 高真空分辨率 0.9 nm @ 30 kV,SE
低真空分辨率 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa
加速電壓 200 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 1,000,000 x
電子槍類型 肖特基熱場發(fā)射電子槍
樣品室 真空系統(tǒng) 全自動控制
低真空模式 180 Pa
攝像頭 雙攝像頭
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控)
行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探測器和擴(kuò)展 標(biāo)配 旁側(cè)二次電子探測器(ETD)
低真空二次電子探測器(LVD)
插入式背散射電子探測器(BSED)
選配 能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
插入式掃描透射探測器(STEM)
樣品交換倉
軌跡球&旋鈕控制板
軟件 語言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散



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