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日立中型掃描電鏡SU3800 / SU3900

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公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
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型號
所在地 深圳市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/7/16 14:36:36
訪問次數(shù) 124

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

1) 支持超大/超重樣品測試　　可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品　　(2) 支持大視野觀察　　■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

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概述

產(chǎn)品參數(shù)

1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品

(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位置，即可移動視野

　　■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　■通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型^*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動監(jiān)控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長時(shí)間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。

產(chǎn)品參數(shù)

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
二級電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機(jī)驅(qū)動	5軸電機(jī)驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統(tǒng)	二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調(diào)整功能	自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級別對齊）
		自動調(diào)整光束亮度
	自動圖像調(diào)整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動光束對準(zhǔn)（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）