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MEMS加速度計高沖擊壓阻式PR型7111A

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7111A是一款全橋結(jié)構(gòu)設(shè)計的壓阻式MEMS加速度計敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整塊單晶硅通過刻蝕成型技術(shù)加工而成,包含慣性質(zhì)量塊和應(yīng)變計,應(yīng)變計組成一個可變四臂惠斯通電橋,并且硅片內(nèi)有特殊的零點平衡電路

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MEMS加速度計高沖擊壓阻式PR型7111A

7111A是一款全橋結(jié)構(gòu)設(shè)計的壓阻式MEMS加速度計敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整塊單晶硅通過刻蝕成型技術(shù)加工而成,包含慣性質(zhì)量塊和應(yīng)變計,應(yīng)變計組成一個可變四臂惠斯通電橋,并且硅片內(nèi)有特殊的零點平衡電路。

由于重量輕、尺寸極小和元件結(jié)構(gòu),傳感器具有出色的共振頻率、低阻抗、高過載、零阻尼無相移的特性。傳感器的高共振頻率使其在包含高頻成分的沖擊脈沖中存活,而這些高頻成分對于具有更低共振頻率的加速度傳感器的慣性系統(tǒng)是破壞性的。

高共振頻率和零阻尼使得加速度傳感器可準(zhǔn)確地響應(yīng)具有快速上升時間的短持續(xù)時間沖擊運動。同時頻率響應(yīng)低至直流或穩(wěn)態(tài)加速度,對于長持續(xù)時間瞬態(tài)測量,該傳感器也是理想選擇。


主要產(chǎn)品特點:1.MEMS加速度計。2.零頻直流響應(yīng)輸出。3.可選沖擊量程200kg。4.密封結(jié)構(gòu)。5.mV輸出。6.鈦合金。7.雙螺釘安裝


主要應(yīng)用領(lǐng)域:沖擊試驗


主要技術(shù)指標(biāo):

1.量程(±g):20k,100k,200k

2.靈敏度(μV/g):5,1.5,0.5

3.頻率響應(yīng)(Hz±1dB):0-100,000

4.沖擊極限(±g):200,000

5.工作溫度范圍():-50120

6.重量(克):2

7.尺寸(mm):14×8×3.5

8.外殼材料:鈦合金

9.輸出接口:一體式線纜


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