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激光干涉儀SJ6000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
product presentation
精測(cè)儀器
 
商品名稱 激光干涉儀
型號(hào) SJ6000
穩(wěn)頻方式 雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度 0.05ppm
供 應(yīng) 商 佛山市精測(cè)計(jì)量?jī)x器設(shè)備有限公司

產(chǎn)品概述
product presentation
精測(cè)儀器

      激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是迄今的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
 

  SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

激光干涉儀

  

產(chǎn)品配置
Product configuration
精測(cè)儀器
       SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

激光干涉儀
       其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

工作原理
working principle
精測(cè)儀器

        激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見(jiàn)圖)。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
 

  若光程差有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

激光干涉儀
 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

 PRODUCT ADVANTAGE
精測(cè)儀器
◆精度高

  SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

 

◆功能廣

  ● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

  ● 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

  ● 可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量;

  ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

  ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

  ● 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

  ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

◆軟件強(qiáng)

  ●  友好的人機(jī)界面;

  ●  豐富的應(yīng)用功能模塊;

  ●  向?qū)降牟僮髁鞒?

  ●  簡(jiǎn)潔化的記錄管理;

  ●  支持中文、英文和俄文界面;

  ● 支持企業(yè)專屬模板定制。

客戶實(shí)例
Client case
精測(cè)儀器

激光干涉儀


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