產(chǎn)品描述Alpha-StepD-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

·        臺階高度：幾納米至1200μm

·        低觸力：0.03至15mg

·        視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

·        梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

·        圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·        緊湊尺寸：較小占地面積的臺式探針式輪廓儀

·        軟件：用戶友好的軟件界面

主要應用

·        臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

·        紋理：2D粗糙度和波紋度

·        形式：2D翹曲和形狀

·        應力：2D薄膜應力

工業(yè)應用

·        大學，研究實驗室和研究所

·        半導體和復合半導體

·        SIMS：二次離子質(zhì)譜

·        LED：發(fā)光二極管

·        太陽能

·        MEMS：微電子機械系統(tǒng)

·        汽車

·        醫(yī)療設備

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