系列掃描探針顯微鏡

CSPM5500/5500A/5500LS

“國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)”成果轉(zhuǎn)化產(chǎn)品

• 國際主流的研究級專業(yè)儀器，集成原子力顯微鏡(AFM)，橫向力顯微鏡(LFM)，掃描隧道顯微鏡(STM)
• 分辨率： 原子力顯微鏡：橫向0.2nm，垂直0.03nm（以云母晶體標(biāo)定）
• 掃描隧道顯微鏡：橫向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶體標(biāo)定）
• 高精度計量型儀器，采用NanoSensors提供的可溯源于國際計量機(jī)構(gòu)PTB的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)
• 一鍵式快速全程全自動進(jìn)樣，無需手動預(yù)調(diào)，行程大于30mm，可容納超大樣品，樣品尺寸為：45mm×45mm×30mm
• 兩級可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可對樣品進(jìn)行精確的檢測區(qū)域定位
• 一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級掃描即可得到納米級的實(shí)際信息
• PID反饋算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個數(shù)量級
• 系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與計算機(jī)連接，支持固件遠(yuǎn)程升級
• 主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示屏，系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)實(shí)時顯示
• 具備實(shí)時在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品信息
• 集成了多功能，多模式的新型原子力顯微鏡。

標(biāo)準(zhǔn)模塊：

• 原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式
• 橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學(xué)性能分析測量功能
• 掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
• 曲線測量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等

選配功能：

• 納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機(jī)械刻畫、矢量掃描模式、DPN浸潤筆模式等
• 磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
• 環(huán)境控制掃描探針顯微鏡
• 液相掃描探針顯微鏡
• 導(dǎo)電原子力顯微鏡
• 掃描探針聲學(xué)顯微鏡
• 掃描開爾文探針顯微鏡
• 力調(diào)制模式成像技術(shù)
• 壓電響應(yīng)力顯微鏡
• 掃描電容顯微鏡
• 樣品溫度控制系統(tǒng)（控溫范圍：-20～150℃）
• 樣品加熱系統(tǒng)（控溫范圍：室溫～250℃）

參考資料：

• CSPM5500掃描探針顯微鏡工作模式簡介
• 環(huán)境檢測及控制掃描探針顯微鏡顯微鏡
• 磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
• 液相掃描探針顯微鏡
• 納米加工
• 導(dǎo)電原子力顯微鏡
• 力調(diào)制模式成像技術(shù)
• 壓電響應(yīng)力顯微鏡
• 掃描探針聲學(xué)顯微鏡
• 掃描開爾文探針顯微鏡
• 樣品溫度控制系統(tǒng)（控溫范圍：-20～150℃）
• 精益求精、信心之選