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全自動(dòng)真空立式烤箱

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥真萍電子科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 合肥市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/10/29 19:20:13
  • 訪問(wèn)次數(shù) 63

該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

產(chǎn)品用途:真空面向是晶圓和封裝段應(yīng)用于低溫烘烤,烘干,除水。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

技術(shù)參數(shù):


號(hào)

TASZ3050D203-N

TASZ3050D403-N

產(chǎn)品特點(diǎn)

 可搭載OHT實(shí)現(xiàn)無(wú)人化操作,節(jié)省空間,真空下低溫烘烤縮短工藝時(shí)間,產(chǎn)品保護(hù)產(chǎn)品性能提升。

氧氣含

50PPM

工藝溫度

室溫+30-300℃

產(chǎn)品規(guī)格

8/12inch 晶圓

存放數(shù)量

50PCS/管

加熱器

熱電阻加熱

上料口

2個(gè)

機(jī)械手

1

溫度范圍

長(zhǎng)期使用溫度: 200℃,溫度:300℃

升溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱功率

22KW

加熱溫區(qū)

3個(gè)

爐溫均勻性

±3℃

控溫?zé)崤?/span>

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐腔材料

SUS316L

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣

氣氛

N2

真空度

≤10pa

潔凈度

Class 100

翹曲度

12寸翹曲度≤2mm;

8寸翹曲度≤1mm


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