上海天端實(shí)業(yè)有限公司自主研制高低溫霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統(tǒng)軟件組成。
可用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。
霍爾效應(yīng)磁場(chǎng)發(fā)生系統(tǒng)
· 磁場(chǎng)強(qiáng)度：1T@30mm
· 極柱直徑φ：100mm
· 極頭直徑φ：60mm
· 可調(diào)范圍：0 ～ 100mm
· 線圈內(nèi)阻：10.0Ω
· 磁場(chǎng)穩(wěn)定性：±0.3Gs（24h時(shí)間內(nèi)）
· 自重：180Kg
霍爾效應(yīng)磁場(chǎng)測(cè)試部分
· 量程：±0.1Gs ～ ±30kGs
· 分辨率：0.1Gs
· 精度：讀數(shù)的±0.3%±0.05%量程
· 測(cè)磁傳感器厚度為1.0mm，長(zhǎng)度為100mm
· 人機(jī)交互：明亮的寬屏高清液晶屏， 4?位顯示，標(biāo)準(zhǔn)9針“D”型RS232連接器
· 自動(dòng)化：完備的計(jì)算機(jī)指令，可通過(guò)數(shù)據(jù)通訊，實(shí)時(shí)在電腦界面監(jiān)測(cè)并控制測(cè)試樣品周?chē)拇艌?chǎng)環(huán)境溫度范圍：滿足-45度~125度，控溫精度±0.1度
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)磁場(chǎng)控制直流電源
· 功率：1KW
· 精準(zhǔn)度：0.2%
· 輸出電流/電壓：±10A/100V
· 分辨率：0.1mA
· 額定負(fù)載：≥2Ω
· 室內(nèi)使用設(shè)計(jì).溫度： 0℃～40℃；
· 濕度：10％～85％ RH
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)樣品恒流源
· 電流輸出基本分辨力0.0001uA，電壓測(cè)量基本分辨力0.0001mV
· 輸出量程：50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進(jìn)連續(xù)可調(diào)
· 測(cè)量電壓：0～±3V大量程測(cè)試電壓滿足高阻芯片的測(cè)試
· 內(nèi)置自動(dòng)變換的四相陣卡，可實(shí)現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動(dòng)測(cè)量
· 良好的人機(jī)交互界面，方便使用者進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)
· 完備的上位機(jī)指令，可與電腦進(jìn)行通訊完成各項(xiàng)操作
高低溫恒溫器
· 液氮恒溫器溫度測(cè)試范圍：80K ～ 500K（測(cè)量速率達(dá)20次/秒）
· 測(cè)溫精度：全量程范圍內(nèi)為0.1K（PT100 鉑電阻）
· 測(cè)溫方法：四引線電阻法
· 真空度：關(guān)閉閥門(mén)后可保持腔體內(nèi)部小于0.1Pa
· 接插件：標(biāo)準(zhǔn)用DP14針插頭，其中四芯用于溫度傳感器，兩芯用于加熱器，剩余八芯測(cè)量線供使用者從恒溫器連接到測(cè)量?jī)x表，可自行定義。
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)控溫儀
· 測(cè)控溫溫區(qū)：1.4 K--- 450 K（具體范圍需依據(jù)使用溫度計(jì)的型號(hào)而定）
· 控溫誤差：小于0.05%F.S ±1個(gè)字（可對(duì)溫漂、時(shí)漂進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償）
· 分辨率：1/60000
· 加熱功率輸出：過(guò)零開(kāi)斷的位式調(diào)節(jié)，0-- 24V， 2A濾波直流輸出
· 可提供兩路PID型溫度控制，輸出功率為100W
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)上位機(jī)軟件
· 可實(shí)現(xiàn)一鍵自動(dòng)化測(cè)量，檢測(cè)開(kāi)始后無(wú)需人員進(jìn)行操作即可進(jìn)行測(cè)量。
· 在軟件中進(jìn)行設(shè)置可進(jìn)行自動(dòng)變溫測(cè)量。
· 軟件中可進(jìn)行I-V曲線、B-V曲線以及測(cè)量的各個(gè)半導(dǎo)體參數(shù)對(duì)于溫度t的曲線圖
· 軟件內(nèi)進(jìn)行的模塊化設(shè)計(jì)，方便客戶使用以及進(jìn)行相關(guān)功能的開(kāi)發(fā)5、實(shí)驗(yàn)結(jié)果測(cè)量完成，數(shù)據(jù)將暫時(shí)保存在軟件中，如需要長(zhǎng)期保存可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL表格中，方便后期的數(shù)據(jù)處理
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)其他配套裝置
· 標(biāo)準(zhǔn)600mm*600mm*1000mm（長(zhǎng)*寬*高）箱式機(jī)柜，內(nèi)置6芯插排，數(shù)量和功率均滿足各使用儀器電源的同時(shí)使用要求
· 標(biāo)準(zhǔn)接口用FX-8型號(hào)機(jī)械真空泵，速度可達(dá)：3L/S
· 恒溫器固定裝置，帶滑軌可實(shí)現(xiàn)恒溫器帶動(dòng)樣片的移動(dòng)。
· 磁場(chǎng)傳感器探頭固定裝置：全鋁非導(dǎo)體支架5-70mm可調(diào)
· 溫度測(cè)量與控制連接線固定裝置
· 制作樣品上歐姆接觸焊點(diǎn)的相應(yīng)工具：電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等
