系統(tǒng)組成：電子光學(xué)系統(tǒng)（掃描電子顯微鏡）、圖形發(fā)生器、精密工件臺(tái)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、精密電源。

主要應(yīng)用：

1：半導(dǎo)體器件研究：微波晶體管，單電子晶體管，量子點(diǎn)，超導(dǎo)環(huán)等

2：光電子器件研究：特種光柵，菲涅爾波帶板，晶體檢波器，光波導(dǎo)，光集成器件

3：微機(jī)械研究：微納機(jī)電系統(tǒng)，微通道，微傳感器，3D微結(jié)構(gòu)

4：消費(fèi)電子研究：全息光學(xué)元件，新一代DVD光，光學(xué)傳感器，磁頭，聲表面波器件

5：其他研究：非生產(chǎn)掩膜板制作，圖形位置標(biāo)定和CD測(cè)量
    納米圖形發(fā)生器DY-2000是電子束納米曝光系統(tǒng)DY-2000的核心部件，由電工研究所自主研發(fā)、生產(chǎn)。吸納了近年來(lái)數(shù)字信號(hào)處理的成果,利用高性能數(shù)字信 號(hào)處理器(DSP)將要曝光的單元圖形拆分成線條和點(diǎn),然后通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,將數(shù)字量轉(zhuǎn)化成高精度的模擬量,驅(qū)動(dòng)掃描電鏡的偏轉(zhuǎn)器,實(shí)現(xiàn)電子束的掃描。 

                                
 
  為此目的特構(gòu)建了x方向和y方向兩組數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,每組包括1個(gè)16位主數(shù)模和3個(gè)16位乘法數(shù)模。通過(guò)圖形發(fā)生器可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集,進(jìn)行掃描場(chǎng)的線性畸變校正,包括掃描場(chǎng)增益、旋轉(zhuǎn)和位移校正。另外,圖形發(fā)生器還可以控制束閘的通斷。配合精密定位工件臺(tái)和激光干涉儀,可以實(shí)現(xiàn)曝光場(chǎng)的拼接。通過(guò)檢測(cè)芯片的標(biāo)記,還可以實(shí)現(xiàn)曝光圖形的套刻，利用配套軟件既可以新建曝光圖形,也可以導(dǎo)入通用格式文件,例如CIF和GDSII文件,進(jìn)行曝光參數(shù)設(shè)置、圖形修正、圖形分割、鄰近效應(yīng)修正等工作，然后將曝光圖形數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成圖形發(fā)生器可以識(shí)別的EDF文件,完成曝光圖形的準(zhǔn)備工作。
圖形發(fā)生器可直接處理的單元圖形包括:矩形、梯形、折線、點(diǎn)、圓及圓環(huán)。圖形發(fā)生器可利用掃描電鏡/聚焦離子束/掃描透射電鏡的外接掃描口、束流測(cè)量裝置和二次電子檢測(cè)輸出等而使其升級(jí)獲得微納米圖形制作的功能并且不損失電鏡原來(lái)的任何功能。結(jié)合掃描電鏡/聚焦離子束/掃描透射電鏡上的其他功能如電子束閘開關(guān)、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和電子光學(xué)數(shù)字控制接口則可以為圖形制作增加圖形的精確性和操作的方便性。

    DY-2000A納米圖形發(fā)生器硬件
     硬件系統(tǒng)構(gòu)成 

    1、高速DSP微控制單元

     DY-2000A采用66MHZ主頻的16位DSP，指令執(zhí)行速度75MIPS，其優(yōu)異的信號(hào)處理能力保證了曝光過(guò)程的速度和結(jié)果的精度。工作溫度-40  ℃---85 ℃, 使其在遠(yuǎn)高于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境溫度下能正常工作。供電電壓僅需2.25v—3.6v.  低功耗，高穩(wěn)定性。

    2、圖像采集模塊
     圖像采集部分我們選用新一代高性能，12位模數(shù)轉(zhuǎn)換器，僅需單電源供電。具有真12位線性度，溫度漂移小。具有獨(dú)立完整的ADC，內(nèi)置高性能，低噪聲的采樣放大器，在額 定數(shù)據(jù)處理中提供真12位精度，不存在失真現(xiàn)象。

    3、電源模塊
     電源部分包括模擬和數(shù)字兩部分
     模擬部分：模擬電路和所有放大器電路主要采用線性電源，利用其輸出純凈性高，防電磁干擾能力強(qiáng)，紋波小，調(diào)整率好。缺點(diǎn)就是體積大，發(fā)熱量偏高 。
     數(shù)字部分：采用線性電源和開關(guān)電源配合使用，需要效率高的采用開關(guān)電源，需要精度高的采用線性電源。

    4、恒溫模塊
?   我們?cè)?/span>X，Y在高精度的數(shù)模轉(zhuǎn)換，DSP信號(hào)處理和刻寫場(chǎng)修正電路等部分做了恒溫處理。

?   線性電源部分我們充分采用控溫和散熱處理。

?   DY-2000A抗干擾箱我們做了溫控處理。

    5、顯示控制單元
     基于EBL曝光全過(guò)程是在電鏡腔體中進(jìn)行，我們無(wú)法直觀的觀其過(guò)程。 因此，我們?cè)跈C(jī)箱上采用5.6寸LED液晶顯示屏，特點(diǎn)是可以直觀的，實(shí)時(shí)的跟蹤曝光過(guò)程，同時(shí)還可以根據(jù)圖形的顯示來(lái)判斷和提高曝光參數(shù)的設(shè)置。

    6、信號(hào)輸入、輸出I/O模塊

 ?   X,Y方向偏轉(zhuǎn)的數(shù)模信號(hào)：采用進(jìn)口BNC插頭配防干擾屏蔽線。

 ?   電鏡圖像信號(hào)的采樣 ：   采用進(jìn)口BNC插頭配防干擾屏蔽線來(lái)接入

 ?   束閘控制和SEM遠(yuǎn)程控制：采用進(jìn)口BNC插頭配防干擾屏蔽線來(lái)輸出

 ?   與PC軟件的通信：采用320M并口傳輸，傳輸速度快，信號(hào)糾錯(cuò)能力強(qiáng)還能同時(shí)進(jìn)行多任務(wù)操作。

    7、束閘輸出模塊
     束閘輸出信號(hào)為0v和5v TTL電平，帶負(fù)載能力強(qiáng)，用于驅(qū)動(dòng)高速通斷的束閘控制器。

    8、防電磁干擾模塊

 ?   獨(dú)立完整的X方向數(shù)模轉(zhuǎn)換和控制部分和獨(dú)立完整的Y方向數(shù)模轉(zhuǎn)換和控制部分，同時(shí)為其分別安排了屏蔽的小黑盒。

 ?   線性電源和開關(guān)電源，均做了獨(dú)立的防干擾和屏蔽的處理。

    硬件技術(shù)參數(shù)