輕量機(jī)型 —— 桌面式、操作與維護(hù)簡便。采用的同步掃描結(jié)構(gòu)，相比于S100機(jī)型，大幅降低整機(jī)尺寸和重量，仍能保持較高的掃描效率。

主要配置：
1、輕量化掃描機(jī)頭；
2、桌面式一體化整機(jī)；
3、全封閉防護(hù)；
4、夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助。

應(yīng)用領(lǐng)域
高效率—— 根據(jù)20/80原則，車間現(xiàn)場80%的批量工件僅需做常規(guī)快速抽檢，不需要做詳細(xì)分析，因此可以使用S400機(jī)型達(dá)到快速檢測。用于半導(dǎo)體、集成電路、低壓電器等行業(yè)的生產(chǎn)線的制程管控。適用于車間現(xiàn)場或小型理化實(shí)驗(yàn)室。

產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源：220V/50Hz，1KW；
2、掃描范圍：200mm×100mm×100mm；
3、整機(jī)尺寸：400mm×500mm×500mm；（標(biāo)配）
4、探頭頻率范圍：1~50MHz；（標(biāo)配，可升級至230MHz）；
5、推薦圖像分辨率：0.5um ~ 4000um；
6、典型掃描耗時(shí)：<45s （測試條件：掃描區(qū)域10mmX10mm，分辨率50um)；
7、掃描速度：300mm/s；掃描加速度：5m/s2；

8、運(yùn)動臺定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重復(fù)定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率：25~250MHz；（標(biāo)配，可升級至1.5GHz）；
10、每通道可調(diào)增益：-13~66dB;（標(biāo)配，可升級）;
11、脈沖重復(fù)頻率：5kHz；（標(biāo)配，可升級）。