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3D輪廓測(cè)量設(shè)備ES-450

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3D輪廓測(cè)量設(shè)備ES-450






設(shè)備技術(shù)參數(shù)：


技術(shù)規(guī)格


ES-450


外觀尺寸


1700mm*1400mm*1900 mm


X.Y測(cè)量行程


450mm*450mm


Z軸可調(diào)行程


50mm


有效測(cè)量范圍


450mm*450mm


掃描最少步距


1μm


掃描速度


10mm/S


檢測(cè)重復(fù)程度


≤0.2μm


電     源


AC220V±10%


重     量


1500kg


噪     音


70db


工作環(huán)境


AC220V±10%


功能描述：


◆  3D形貌


◆  臺(tái)階高


◆  粗糙度


◆  MEMS形貌


◆  TSV


◆  光刻膠厚度


◆  刻蝕圖形


◆  Bump


◆  金球


◆  銅柱



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