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主要技術(shù)參數(shù)●波長范圍：185nm-3300nm●橢偏類型：采用PEM相位調(diào)制●測量范圍：Psi=0°-90°，Delta=0°-360°無死區(qū)●入射角：55°-90°

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主要技術(shù)參數(shù)
● 波長范圍：185nm-3300nm
● 橢偏類型：采用PEM相位調(diào)制
● 測量范圍：Psi= 0°-90°，Delta= 0°-360°無死區(qū)
● 入射角： 55°-90°；入射角控制精度：5°
● 樣品臺尺寸：可放置直徑150mm、厚度≥20mm的樣品
 
功能特點
● 配置了3個檢測器，在1500 nm波長檢測時噪聲小于0.00003 Abs，達到低的噪聲水平。
● 采用高性能雙單色器，實現(xiàn)高分辨率（分辨率0.1nm）和超低雜散光（340nm處雜散光0.00005%以下）。
 
 


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