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RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)

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RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)可對樣品進(jìn)行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試

詳細(xì)信息 在線詢價

RTS-1345
統(tǒng)
可對樣品進(jìn)行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試;
屏蔽測試,消除光線對樣品測試的影響,保證測量的準(zhǔn)確性;
吸附測試,消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響;
可不連接電腦使用進(jìn)行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結(jié)果同時顯示于顯示屏;
RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制進(jìn)行全自動測試,然后把測試數(shù)據(jù)采集到計算機中加以分析,以表格、圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)面板

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RTS-1345型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。


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技 術(shù) 指 標(biāo)
測量范圍
電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴展);
電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm
電阻:0.0001~2000Ω.cm;
可測晶片直徑
Φ=200mm;
恒流源
電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量相對誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
≤5%
測試模式
連接電腦使用可對樣品進(jìn)行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試,不連接電腦情況下可進(jìn)行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結(jié)果同時顯示于顯示屏。
消除測試過程中影響因素
屏蔽和吸附測試,消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響,保證測量的準(zhǔn)確性。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強光直射;
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