一·設(shè)備用途：

主要用于LED行業(yè)的藍寶石晶體制備。

二·設(shè)備特點：

本設(shè)備采用分體模塊化設(shè)計，立式底出料結(jié)構(gòu)，爐體，真空系統(tǒng)，電控系統(tǒng)分別模塊化式設(shè)計，現(xiàn)場三大模塊按照平面布置圖拼接組合起來，不用每樣都分別拆分組裝，安裝方便快捷，***整潔大方。

三·主要技術(shù)參數(shù)

1.**加熱溫度：              1800℃

2.功率：                    80Kw±10%單相整流
2.冷態(tài)極限真空度：            ≤5×10E-**a

3.壓升率：                  ≤2Pa/h
4.爐體尺寸：                Ф750×1065mm（直徑×高）

5·工作尺寸：                Ф320×300

6.測溫系統(tǒng)：                 熱電偶

7.控溫精度：                 ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表

8.加熱區(qū)：                   一區(qū)

9.坩堝升降參數(shù)：              位移行程 400mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

 快速升降50-200mm/min（伺服控制）

10.底出料參數(shù)：                 位移行程 850mm

  升降速度100-1000mm/min

11·爐內(nèi)充氣壓力：             ≤0.05MPa

12·充放氣系統(tǒng)：               兩路（一路采用電磁閥充放氣，一路預留充放氣接口）

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