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正置金相顯微鏡MX4R

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采用大行程移動(dòng)工作平臺(tái),長工作距半復(fù)消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測。

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規(guī)格參數(shù)

technical parameter
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光學(xué)系統(tǒng) 無限遠(yuǎn)色差矯正系統(tǒng)
觀察筒 30°傾斜,無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察筒
5-35°傾角可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):54-76mm,視度調(diào)節(jié)∶±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100
 目鏡 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/22mm,可選視度可調(diào),可帶測微尺
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL15X/16mm
物鏡 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)
LCD帶校正環(huán)半復(fù)消物鏡50X
轉(zhuǎn)換器 內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程30mm,微調(diào)精度0.001mm.帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.
載物臺(tái) 4英寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積230mm×215mm,移動(dòng)范圍105mm×105mm,金屬載物臺(tái)板。(左/右手位,反射用)
照明系統(tǒng) 反(落)射照明器﹐柯拉照明系統(tǒng),帶可變孔徑光闌與視場光闌,中心可調(diào);帶斜照明100-240V寬電壓,單顆大功率5WLED,暖色(色溫2850K-3250K)
攝影攝像 0.35X/0.5X /0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦;數(shù)碼相機(jī)中繼鏡
其他 起偏鏡插板,檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板﹔反射用干涉濾色片組﹔高精度測微尺;DIC微分干涉組件

更多說明

Product details
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大行程移動(dòng)工作平臺(tái),長工作距半復(fù)消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測。

 

長工作距金相物鏡
全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個(gè)視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
 

高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
MX機(jī)型的轉(zhuǎn)泱希挽后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)MX系列機(jī)型配置及功能的不同,可以選擇不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換器。
 

寬視場較鏈?zhǔn)饺坑^察筒
MXETH25型正像較鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方位一致,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作,適用干6英寸移動(dòng)平臺(tái)配合使用。MX4 RTH30R型較鏈三目觀察簡,適用于4英寸平臺(tái)配合使用。兩種類型的觀察簡可以在MX機(jī)型內(nèi)通用。
 

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測級(jí)顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,極大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可以適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
 

豐富的觀察方式,滿足您的檢測需求
集成了明場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。
 

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