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POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版

參考價(jià)100-50000/臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢提沃克科技有限公司
  • 品牌 POLOS
  • 型號(hào)
  • 所在地 武漢市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/1/14 14:14:52
  • 訪問次數(shù) 7

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POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī),由NPP 制成。
它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版

POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī),由NPP 制成。

它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)臺(tái)式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動(dòng)或自動(dòng)(可選)化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。


POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版

腔室規(guī)格:

- 最大支持8" (200mm) 晶圓

- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板

- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP) 


硬件規(guī)格

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計(jì),可在現(xiàn)場輕松切換臺(tái)式和嵌入式型號(hào).

- 配備中心注射架,用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型(可拆卸)觸摸顯示屏

- USB 端口,用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新

- 3 I/O端口


驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格:   

- 采用間接無刷驅(qū)動(dòng)單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM(取決于基板/卡盤) 

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)


隨附旋涂儀卡盤和適配器: 

-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤

-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤

-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器

- FCA SPS-Europe, The Netherlands







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武漢提沃克科技有限公司

|

手機(jī):18971418420

聯(lián)系人:晏

電話:86-027-87052487

傳真:86-027-87052487-8015

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  • 其他
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