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C-43型 9英寸 國產(chǎn)高精度光刻機(jī) 多點光源曝光頭

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C-43型 9英寸 國產(chǎn)高精度光刻機(jī) 多點光源曝光頭


C-43型9英寸國產(chǎn)高精度光刻機(jī)多點光源曝光頭是一款專用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件以及聲表面波器件的研制和生產(chǎn)的設(shè)備。其出色之處在于其高度的找平機(jī)構(gòu),可以實現(xiàn)對多種材料的高精度曝光,包括硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片和寶石片等。


工作方式方面,C-43型9英寸國產(chǎn)高精度光刻機(jī)采用一次性光刻曝光,即在一次操作中完成曝光的整個過程。


C-43型9英寸國產(chǎn)高精度光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo):

設(shè)備配備了一件承片臺,其尺寸可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行定制。

曝光頭采用了多點光源曝光頭,其性能特點如下:

出射光斑直徑不超過230mm,采用高壓直流汞燈,功率為350W。

在直徑為230mm的范圍內(nèi),光的不均勻性小于±10%。

能夠在真空密封條件下進(jìn)行曝光。

曝光時間可以通過0.1~999.9秒的時間繼電器進(jìn)行設(shè)定。

汞燈的位置可以通過精密的x、y、z調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行調(diào)整,分別可以調(diào)節(jié)±5毫米。

具備風(fēng)扇冷卻裝置。

分辨率不低于5μm。

具備真空吸片功能。

具有真空密封和反吹氣的功能,通過調(diào)節(jié)密封真空的大小可以實現(xiàn)硬接觸曝光(密封真空≤-0.05 Mpa)、軟接觸曝光(密封真空在-0.05Mpa~-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光(密封真空≥-0.02Mpa)。


C-43型9英寸國產(chǎn)高精度光刻機(jī)主要配置:

一臺多點光源曝光頭,支持一次性曝光。

曝光面積不小于φ230mm。

曝光不均勻性小于±10%。

曝光強(qiáng)度不低于5mw。

曝光分辨率不高于5μm。

曝光模式為單面曝光。

支持多種掩膜版尺寸,包括3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、8英寸、9英寸。

基片厚度不超過5mm。

曝光燈功率為350W。

曝光定時范圍為0~999.9秒,可調(diào)。

電源要求為單相AC 220V 50Hz,功耗不超過1kW。

需要潔凈壓縮空氣壓力不低于0.4Mpa。

可以實現(xiàn)真空度在-0.07Mpa~-0.09Mpa之間。

設(shè)備尺寸為700×650×1200毫米(長×寬×高),重量約為110kg。

備件包括一臺真空泵、一只汞燈和15米φ8氣管。



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