表面塵埃粒子計數(shù)器P-III采用第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次，通過物理或氣流方式將附著在表面的顆粒重新懸浮，基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，實時捕獲懸浮粒子的散射光信號，實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑

A 0.3um、2.5um、10um;                                                  B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;

C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;             D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;      F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差：≤±30%

2、濃度示值誤差：≤±30%

3、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS

4、重疊誤差：≤5%

5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190

8、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

9、采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

10、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；

11、檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置     

12、報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值

13、限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器

14、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等

15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921

16、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

17、存儲模式：實時、定時存儲可設(shè)置；無限制

18、打印模式：可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)

19、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝

20、多種探針可供選擇

產(chǎn)品特點

智能化設(shè)計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導(dǎo)出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC：結(jié)合顆?？刂撇呗裕P(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。