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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 上海西努光學(xué)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 上海市
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2016/11/9 14:24:27
- 訪問次數(shù) 794
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AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便 ,可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。
AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡詳細(xì)介紹:
AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便
•可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。
•分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。 堅(jiān)固、可靠和安全傳送
•延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡宏觀照明裝置
宏觀照明裝置 | 為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式 高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。 |
AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格 | ||
AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | |
晶圓尺寸 | 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm | |
卡盒 | ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 ●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運(yùn)盒 ●SEMI:M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 |
卡盒數(shù) | 單盒(裝載、卸載兼用) | |
卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無(wú) |
搬運(yùn)順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中心環(huán) | |
晶圓搬運(yùn)方式 | 真空吸附機(jī)械搬運(yùn) | |
適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | |
應(yīng)用環(huán)境 | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa |
載物臺(tái) | XY手動(dòng)吸附載物臺(tái),有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | |
重量(不包括顯微鏡) | 約360 kg | 約270 kg |
光學(xué)參數(shù)檢測(cè):寬場(chǎng)熒
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