爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體

• 采用兩個(gè)溫度控制器，分別控制頂部和底部?jī)山M加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體
• 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法蘭

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

• 真空法蘭為316不銹鋼制作
• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
• 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-2 torr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-4torr.

加熱元件和載樣臺(tái)

• 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部
• 兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過(guò)直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm
• 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）
• 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺(tái)，以達(dá)到較好的加熱均勻性
• 底部載樣臺(tái)上可放入5"x5"的石墨坩堝來(lái)盛放蒸發(fā)原料
• 此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（16L/m)

  

溫控系統(tǒng)

• 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序
• 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
• PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
• 控溫儀表操作視頻
• 

工作溫度

• zui高工作溫度為：800℃
• 兩個(gè)加熱區(qū)之間的zui大溫差為300℃

加熱和冷卻速率

• 加熱速率> 8ºC/s（每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱）
• 冷卻速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

熱電偶

兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開(kāi)關(guān)）

功率

3000W

可選

• 實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵，可與本公司選購(gòu)真空泵
• 采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr
• 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購(gòu)無(wú)油泵
• 也可選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
•   

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管）

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）