結(jié)構(gòu)&特點(diǎn)

• 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，易清潔和放入樣品
• 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性
• 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，zui高溫度可達(dá)到1700℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品（僅1600℃以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600℃，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）
• 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

電源

• 電壓:  AC 208 - 220V 50/60Hz , 單相, 50/60Hz
• zui大功率為：500W zui大電流為30A

溫控及加熱源

• 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制（如圖1
• 標(biāo)準(zhǔn)采用S型熱偶：工作溫度為200℃-1500℃
• 可選B型熱電偶：工作溫度為1200℃-1700℃
• 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2）
• 也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動(dòng)調(diào)節(jié)接狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動(dòng)調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可高達(dá)2000℃，可達(dá)到對(duì)樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)（如圖3）
• 儀器中配有2個(gè)鎢絲籃（如圖4）

樣品臺(tái)

• 儀器頂部安裝有樣品臺(tái)，直徑為Φ50mm
• 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為：5rpm
• 樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：60mm-100mm

真空計(jì)（可選）

• 可選購(gòu)一數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG554,測(cè)量范圍為：3.8x10^-5-1125Torr

進(jìn)氣口

• 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
• 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

真空系統(tǒng)（選配）

• 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵
• zui高真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵）
• 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr
• 真空度達(dá)到10^-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，如金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測(cè)量范圍3.8x10^-5 to 1125 Torr.)
• 高真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對(duì)氧敏感的材料，如Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)（zui高可測(cè)量真空度為1.0E-7Torr）
• 可在本公司選購(gòu)各種真空泵和真空計(jì)

進(jìn)氣接口

• 一Φ6.35卡套接頭，用于向腔體中通入氣體
• 一個(gè)調(diào)節(jié)閥安裝在儀器上，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

耗材

• 標(biāo)配中有5個(gè)氧化鋁坩堝和2個(gè)鎢絲籃
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外形尺寸

• 440mm*330mm*520mm

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證
• 一年質(zhì)保期終身維護(hù)

注意事項(xiàng)

• 為了獲得高真空度，可采用以下做法
  （1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗
  （2）抽真空時(shí)，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時(shí)
• 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對(duì)氧氣敏感的材料，比如金屬Li等。（可在本公司選購(gòu)開(kāi)啟式手套箱VGB-6）
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• 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會(huì)損壞密封圈
• 當(dāng)腔體的各閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，請(qǐng)勿開(kāi)啟升溫程序或手動(dòng)調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱
• 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開(kāi)泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣或關(guān)閉真空泵