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離子濺射儀是一種鍍膜裝置，能夠被掃描電鏡、電子探針等儀器用來對試樣進(jìn)行制備，是教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)得以開展的儀器。離子濺射儀擁有緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。其原理是以荷能正離子對靶電極轟擊使得濺射現(xiàn)象產(chǎn)生為基礎(chǔ)，在基臺上樣品表面靶被濺射出來的中性原子沉淀成膜，使得導(dǎo)電層形成。
離子濺射儀通常為二級結(jié)構(gòu)，通過臺和樣品架為正電極連接儀器外殼并且接地，負(fù)電極(加負(fù)高壓)為濺射靶電極。真空腔在玻璃罩內(nèi)安裝好后，當(dāng)腔內(nèi)達(dá)到一定的真空度，在電場加速下得到充足的能量后，對負(fù)電極上的靶面進(jìn)行轟擊，靶面被濺射后，原子在基臺的樣品表面沉淀形成導(dǎo)電膜。
離子濺射儀常見故障：
1.使用一段時間后，濺射電流變小：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查，若是靶材變色或破裂，要對靶材進(jìn)行更換；若是有油污，則用無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空；
2.在使用一段時間以后，有著過低的真空：檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油，可以使用汽油進(jìn)行清洗；
3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn)，對間距進(jìn)行調(diào)整；
4.過低的真空：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊；
5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象：機(jī)械真空泵長期保持極限真空。
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